??真空密封是一種利用被稱為磁流體的液體被磁鐵吸引的特性的密封裝置。

磁流體雖然具有流體，但它像鐵砂一樣被磁鐵吸引。通過將磁性流體與磁體保持在真空密封中，連接部分和裝置之間的間隙被密封。它可以防止空氣、氣體和顆粒物進入密封物體，從而保持真空環境。

保持磁流體的力由磁鐵的強度（磁力）決定，因此磁力越強，磁流體環的承受壓力越大。

真空密封的應用

真空密封用于在生產嚴格禁止受到雜質、空氣或水分污染的產品時保持質量。由于其利用流體磁力的高阻擋效應，因此通常用于需要高真空條件的制造業，例如制造半導體、太陽能電池和智能手機的有機EL面板。

在這些制造過程中，需要制造設備的節能和小型化，真空密封件的應用范圍極其廣泛。

1. 半導體

在半導體制造中，用于濺射設備、CVD設備、離子注入設備。這些需要具有真空密封的高真空環境，以便形成均勻的薄膜并通過離子注入控制半導體的電性能。

2、太陽能電池

它還用于單晶拉制設備來生產硅錠，這對于生產太陽能電池至關重要。在制造過程中，硅錠在真空中制造，以防止灰塵和污垢等污染以及空氣引起的氧化。真空密封用于維持設備內的真空環境。

3. 有機EL

在有機EL中，為了形成有機EL元件的薄膜而進行真空蒸鍍時需要真空密封。近年來，隨著液晶顯示器對有機EL的需求增加，對真空密封的需求也增加。

真空密封原理

真空密封使用一種稱為鐵磁流體的液體。磁性流體由三種成分組成：磁性納米顆粒（磁性顆粒）、表面活性劑以及水或油等基液。

通常情況下，磁性顆粒往往會像磁鐵一樣聚集在一起（尖峰現象），因此通常使用表面活性劑來防止這種情況發生。表面活性劑是極性的，因此極性相同的顆粒會相互排斥。結果，可以產生穩定的磁性流體作為膠體溶液而不會附聚。

此外，除了磁性流體之外，真空密封件還使用永磁體和稱為軸的旋轉軸。真空密封件具有在高速旋轉時進行密封的機構，并且可以防止旋轉軸與磁極材料或永磁體之間的接觸。與油片不同，固體物體不會相互接觸，因此無需擔心摩擦。

真空密封結構

密封軸形狀的制造尺寸范圍廣泛，從幾毫米的小型產品到幾米的大型產品。真空密封由旋轉軸和強磁極片組成，兩種材料之間的間隙中產生磁場。

通過在該磁場中將磁性流體引導到間隙中，磁性流體形成O形環形狀并緊密粘附，從而防止外部侵入。

真空密封的特點

由于轉軸與液體接觸，因此可以任意旋轉，不會對轉軸造成磨損。此外，由于磁性流體沿著磁力線封閉間隙，因此不會因壓力差而流出，從而可以維持真空環境。

另外，磁力越大，磁性流體形成的環的承受壓力越高。通過多級形成環，形成耐高壓真空密封，可以承受更大的壓力。

磁流體的惰性和低蒸氣壓的特性也與真空密封的壽命有關。優點是不易變質，可以長期使用，因為它采用了不易反應的磁性流體。